[发明专利]真空室活动片架在线测温系统在审
| 申请号： | 201810044332.8 | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN108181020A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 陶翔;金浩;王德苗;李东滨;秦正春;冯斌 | 申请（专利权）人： | 浙江大学昆山创新中心 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空室活动片架在线测温系统，包括分布在片架一侧边的声表面波无线无源传感器陈列，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置。本发明的真空室活动片架测温系统，解决了传统热电偶测量系统无法在线测量活动片架温度的问题，同时采用传感器阵列解决了大片架在不同区域温度分布不均而无法全面测量的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 活动片 真空室 在线测温系统 无线无源传感器 信号处理装置 传感器阵列 传统热电偶 测量系统 测温系统 传输天线 磁控溅射 声表面波 室内传输 天线连接 温度分布 在线测量 片架 室外 测量 陈列 室内 大片 | ||
【主权项】：
1.真空室活动片架在线测温系统，其特征在于：包括分布在片架一侧边的声表面波无线无源传感器，安装于真空室内远离磁控溅射区的传输天线，以及安装在真空室外与真空室内传输天线连接的信号处理装置，所述声表面波无线无源传感器和以及信号处理装置均和传输天线无线连接。
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