[发明专利]一种抛光液及其制备方法有效
| 申请号： | 201810049654.1 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN108178987B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 蒋秋菊 | 申请（专利权）人： | 上海彤程电子材料有限公司;彤程新材料集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人： | 罗炳锋 |
| 地址： | 201400 上海市奉贤区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种抛光液及其制备方法，属于精密加工领域。一种抛光液，所述抛光液按质量百分比，包括1~25%的磨料颗粒和75~99%的基液，所述磨料颗粒为平均粒径为0.5~50微米的金刚石颗粒。所述基液的制备方法包括下述工艺步骤：将SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 抛光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抛光液，其特征是，所述抛光液按质量百分比，包括1~25%的磨料颗粒和75~99%的基液，所述磨料颗粒为平均粒径为0.5~50微米的金刚石颗粒，所述基液按下述方法制备所得， 包括下述工艺步骤：（1）将SiO2纳米粒子与硅烷偶联剂和乙二醇按质量比为100:1~2:5~10混合后进行球磨，球磨时间至少0.5h，球磨后进行干燥，得到预处理的SiO2纳米粒子；（2）将顺丁烯二酸酐按与水的质量比为15~50:100溶于水中，90～105℃，在过硫酸铵存在下使其与丙烯酸反应4~6 h，反应同时向反应液内滴加质量分数为30~40%NaOH溶液，反应完毕后调节溶液pH值为7~7.5，得共聚物溶液，其中，顺丁烯二酸酐与丙烯酸的摩尔比1:0.5~2，过硫酸铵与顺丁烯二酸酐的摩尔比为0.1~5:100；（3）将步骤（1）所得预处理的SiO2纳米粒子按0.5~5g:10mL溶于步骤（2）所得共聚物溶液中，超声分散，干燥；将干燥所得SiO2纳米粒子按与介质溶剂的质量比为10:4~8分散于介质溶剂中，超声分散，得抛光液用基液。
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