[发明专利]一种基于DMD的光刻机3D灰度图像曝光优化方法有效
| 申请号： | 201810060615.1 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN108303856B | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 许成军 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06T9/00;G06T1/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于DMD的光刻机3D灰度图像曝光优化方法，该方法包括以下步骤：（1）对图形数据进行灰度图像预处理，得到待处理的数据。（2）根据公式B=(((J+N‑1)/N)+T‑1)/(T)，确定合适的线程数和线程块的数量；其中，B表示线程块的数量，J表示待处理的数据的字节数，N表示每个线程处理的字节数，T表示线程数。（3）将待处理的数据进行分段处理。（4）将分段处理后的数据进行重组，抽去无效数据。本发明通过上位机利用CUDA对DMD灰度曝光图像进行按像素压缩，利用网络接口传输压缩后的数据，能够减少数据传输的带宽限制，提高光刻机的灰度扫描曝光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 dmd 光刻 灰度 图像 曝光 优化 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于DMD的光刻机3D灰度图像曝光优化方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：（1）对图形数据进行灰度图像预处理，得到待处理的数据；（2）根据公式B = (((J+N‑1)/N) + T‑1)/(T)，确定合适的线程数和线程块的数量；其中，B表示线程块的数量，J表示待处理的数据的字节数，N表示每个线程处理的字节数，T表示线程数；（3）将待处理的数据进行分段处理；（31）对每一段数据进行CUDA压缩，将压缩后的数据存储在CUDA的共享内存SM1中；（32）将各线程块中共享内存SM1中的数据拷贝到全局内存GM1中；（33）记录每个线程压缩后的数据大小K，同时将数据保存在共享内存SM2中；（34）将各线程块中共享内存SM2中的数据拷贝到全局内存GM2中；（4）将分段处理后的数据进行重组，抽去无效数据。
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