[发明专利]一种基板固定载具、蒸镀设备及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201810074497.X | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN108203812B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 刘锦东;范超龙;刘乐;杨小翠 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 11274 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基板固定载具、蒸镀设备及蒸镀方法，涉及蒸镀技术领域，以提高蒸镀过程的效率，并提高对待蒸镀基板进行蒸镀后的良率。该基板固定载具包括支撑框架和冷却板，支撑框架中部具有中空区域，支撑框架对应于中空区域的内壁上设置有支撑部；冷却板与支撑框架可相向移动，冷却板与支撑框架相向移动时，冷却板落入中空区域内，冷却板的边缘与支撑部相对；对待蒸镀基板蒸镀时，待蒸镀基板位于中空区域内，待蒸镀基板的边缘位于支撑部上，待蒸镀基板呈长方形结构，冷却板对应于待蒸镀基板的长边的边缘与对应的支撑部之间的间距大于或等于待蒸镀基板的厚度，冷却板对应于待蒸镀基板的短边的边缘与对应的支撑部之间的间距小于待蒸镀基板的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀基板 冷却板 蒸镀 支撑框架 中空区域 基板固定 载具 支撑 相向移动 蒸镀设备 长方形结构 长边 短边 良率 内壁 | ||
【主权项】：
1.一种基板固定载具，其特征在于，包括支撑框架和位于所述支撑框架上方的冷却板，所述支撑框架中部具有中空区域，所述支撑框架对应于所述中空区域的内壁上设置有支撑部；所述冷却板与所述支撑框架可相向移动，所述冷却板与所述支撑框架相向移动时，所述冷却板落入所述中空区域内，且所述冷却板的边缘与所述支撑部相对；/n对待蒸镀基板蒸镀时，待蒸镀基板位于所述中空区域内，待蒸镀基板的边缘位于所述支撑部上，待蒸镀基板呈长方形结构，所述冷却板对应于待蒸镀基板的长边的边缘与对应的所述支撑部之间的间距大于或等于待蒸镀基板的厚度，所述冷却板对应于待蒸镀基板的短边的边缘与对应的所述支撑部之间的间距小于待蒸镀基板的厚度。/n
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