[发明专利]掩膜版组件有效

专利信息
申请号: 201810076395.1 申请日: 2018-01-26
公开(公告)号: CN108269755B 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 张涛 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L27/32
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种掩膜版,包括掩膜承载框和固定连接于掩膜承载框的掩膜,所述掩膜承载框包括相对设置的第一支撑板和第二支撑板,所述第一支撑板包括朝向第二支撑板的第一连接面,所述第二支撑板包括朝向第一连接面的第二连接面,所述掩膜呈夹角连接于所述第一连接面和第二连接面,所述第一连接面和第二连接面与所述掩膜的夹角为钝角。本发明还提供一种掩膜版组件,用于对位贴合玻璃基板和掩膜,包括上述掩膜版和基台,所述基台表面设置有多个间隔排列的第一顶针和第二顶针,所述掩膜版位于多个所述第二顶针上,多个所述第一顶针以支撑所述玻璃基板且使玻璃基板位于掩膜版正下方,所述掩膜版的第一连接面和第二连接面用于推使玻璃基板与掩膜对位。
搜索关键词: 掩膜版 组件
【主权项】:
1.一种掩膜版,其特征在于,包括掩膜承载框和固定连接于所述掩膜承载框的掩膜,所述掩膜承载框包括相对设置的第一支撑板和第二支撑板,所述第一支撑板包括朝向所述第二支撑板的第一连接面,所述第二支撑板包括朝向所述第一连接面的第二连接面,所述掩膜呈夹角连接于所述第一连接面和所述第二连接面,并且所述第一连接面和所述第二连接面与所述掩膜的夹角为钝角。
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