[发明专利]洗除氧化钨的洗液及清洗附着有氧化钨生产工具的方法有效
| 申请号： | 201810093214.6 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN108330030B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 时庆楠;周德榕;许原诚;陆洋;郑忠 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/04 | 分类号： | C11D7/04;C11D7/06;C11D7/26;B08B3/08;C11D7/60 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 徐素柏 |
| 地址： | 225000 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及化学洗液技术领域内洗除氧化钨的洗液及清洗附着有氧化钨生产工具的方法，本发明的洗除氧化钨的洗液，包括如下质量组成的组分：双氧水0.1%‑3%，IA族金属氢氧化物0.1%‑3%，氨水0.1%‑3%，一元醇0.1‑3%，余量为水，所有组份的质量百分量之和为100%。本发明的清洗液中，氧化钨于水中少量溶解生成钨酸，IA族金属的氢氧化物和氨水均能与钨酸反应生成钨酸盐或偏钨酸盐，通过此双物料反应，可以提高反应速度和效率。加入双氧水，可提高三氧化钨稳定性，避免三氧化钨转化为低价氧化钨，避免产生不溶解的副产物；加入一元醇，主要作用为表面活性剂，通过其羧基的极性，加快物质的溶解使得整个反应速度更快，最终可使此清洗液在常温下快速有效的去除三氧化钨附着污物。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化钨 清洗 附着 生产工具 方法 | ||
【主权项】：
1.一种洗除氧化钨的洗液，其特征在于，包括如下质量组成的组分：双氧水0.1%‑3%，IA族金属氢氧化物0.1%‑3%，氨水0.1%‑3%，一元醇0.1‑3%，余量为水，所有组份的质量百分量之和为100%。
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