[发明专利]样品架有效

专利信息
申请号: 201810094468.X 申请日: 2018-01-31
公开(公告)号: CN108257899B 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 郭逦达;赵树利;叶亚宽;杨立红 申请(专利权)人: 上海祖强能源有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 北京正和明知识产权代理事务所(普通合伙) 11845 代理人: 申婕
地址: 201203 上海市浦东新区中*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及样品架,所述样品架包括限位架、托架和立架,所述限位架以及所述托架连接于所述立架并通过所述立架相互间隔设置;其中,所述限位架包括第一框体,所述第一框体内开设有第一开口,所述第一框体形成所述第一开口的两相对侧内壁上分别形成有至少一限位凸起,每一所述限位凸起的至少一侧形成有限位槽,所述第一框体两相对内侧的所述限位槽一一对应。本发明样品架结构简单,可同时清洗和处理多个样片,样品架中限位架和托架的相互间隔设置减少了样品架的镂空和网格部分,在多步处理过程中,不易残留上一步用到的溶液,样品架方便取出、拆装和清洗,给实验室规模的半导体材料研发和制备带来了极大的便利。
搜索关键词: 样品
【主权项】:
1.一种样品架,其特征在于,所述样品架包括限位架、托架和立架,所述限位架以及所述托架连接于所述立架并通过所述立架相互间隔设置;其中,所述限位架包括第一框体,所述第一框体内开设有第一开口,所述第一框体形成所述第一开口的两相对侧内壁上分别形成有至少一限位凸起,每一所述限位凸起的至少一侧形成有限位槽,所述第一框体两相对内侧的所述限位槽一一对应。
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