[发明专利]用于引线框架的蚀刻保护治具及引线框架的蚀刻方法有效

专利信息
申请号: 201810095846.6 申请日: 2018-01-31
公开(公告)号: CN108231633B 公开(公告)日: 2020-04-17
发明(设计)人: 周海锋;沈锦新;周青云;张江华;吴昊平 申请(专利权)人: 江苏长电科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/027
代理公司: 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 代理人: 杨林洁
地址: 214431 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种用于引线框架的蚀刻保护治具及引线框架的蚀刻方法。所述蚀刻保护治具包括盖板、与所述盖板贴合的载板及设置在所述载板上用以定位盖板的卡扣装置,所述载板和盖板之间具有用以收容引线框架的收容空间,所述盖板具有上下贯通用以露出引线框架上的蚀刻区域的让位孔及对应所述卡扣装置的开孔,所述卡扣装置具有平行于所述载板设置的定位板、与定位板配合设置的定位柱及设在定位板上的磁性元件,所述定位板上设有上下贯通且与定位柱相配合的滑动槽,所述载板还设置有对应所述定位板上的磁性元件的磁性模块及用以固定定位柱的固定槽。如此设置,通过蚀刻保护治具覆盖保护非蚀刻区域,并露出蚀刻区域,达到选择性蚀刻的目的。
搜索关键词: 用于 引线 框架 蚀刻 保护 方法
【主权项】:
1.一种用于引线框架的蚀刻保护治具,用于在蚀刻工艺时对非蚀刻区域的保护,其特征在于:所述蚀刻保护治具包括盖板、与所述盖板贴合的载板及设置在所述载板上用以定位盖板的卡扣装置,所述载板和盖板之间具有用以收容引线框架的收容空间,所述盖板具有上下贯通用以露出引线框架上的蚀刻区域的让位孔及对应所述卡扣装置的开孔,所述卡扣装置具有平行于所述载板设置的定位板、与定位板配合设置的定位柱及设在定位板上的磁性元件,所述定位板上设有上下贯通且与定位柱相配合的滑动槽,所述载板还设置有对应所述定位板上的磁性元件的磁性模块及用以固定定位柱的固定槽,所述磁性模块与磁性元件的磁性相反;初始状态下,所述盖板盖合在所述载板上,所述磁性元件受到所述磁性模块的吸引而使得定位板与载板保持上下贴合;使用时,所述定位板受力被推动至压抵在所述盖板上,令所述载板与盖板压紧。
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