[发明专利]发光二极管芯片的制造方法和发光二极管芯片在审

专利信息
申请号: 201810101212.7 申请日: 2018-02-01
公开(公告)号: CN108400225A 公开(公告)日: 2018-08-14
发明(设计)人: 冈村卓 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L33/58 分类号: H01L33/58
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 于靖帅;乔婉
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供发光二极管芯片的制造方法和发光二极管芯片,得到充分的亮度。该方法具有:晶片准备工序,准备如下的晶片:该晶片在晶体成长用透明基板上具有层叠体层,在层叠体层的正面上的由互相交叉的多条分割预定线划分的各区域中分别形成有LED电路,该层叠体层形成有包含发光层在内的多个半导体层;第1透明基板粘贴工序,将内部形成有多个气泡的第1透明基板的正面粘贴在晶片的背面上而形成第1一体化晶片;第2透明基板粘贴工序,在实施了第1透明基板粘贴工序之后,将第2透明基板的正面粘贴在第1透明基板的背面上而形成第2一体化晶片;和分割工序,沿着分割预定线将晶片与第1、第2透明基板一起切断而将第2一体化晶片分割成各个发光二极管芯片。
搜索关键词: 透明基板 晶片 发光二极管芯片 粘贴 层叠体 分割预定线 一体化 背面 半导体层 互相交叉 晶片分割 发光层 制造 分割
【主权项】:
1.一种发光二极管芯片的制造方法,其特征在于,该发光二极管芯片的制造方法具有如下的工序:晶片准备工序,准备如下的晶片:该晶片在晶体成长用透明基板上具有层叠体层,在该层叠体层的正面上的由互相交叉的多条分割预定线划分的各区域中分别形成有LED电路,其中,所述层叠体层形成有包含发光层在内的多个半导体层;第1透明基板粘贴工序,将内部形成有多个气泡的第1透明基板的正面粘贴在晶片的背面上而形成第1一体化晶片;第2透明基板粘贴工序,在实施了该第1透明基板粘贴工序之后,将第2透明基板的正面粘贴在该第1透明基板的背面上而形成第2一体化晶片;以及分割工序,沿着该分割预定线将该晶片与该第1透明基板和该第2透明基板一起切断而将该第2一体化晶片分割成各个发光二极管芯片。
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