[发明专利]一种利用原子力显微镜测量极片表面SEI膜厚度的方法在审
| 申请号： | 201810113022.7 | 申请日： | 2018-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN108535516A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 史瑞星;赵永锋;李云峰;许飞;李莉;李小涛;刘兴福;谭倩;戚凤晓;翟婷 | 申请（专利权）人： | 多氟多（焦作）新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/26 | 分类号： | G01Q60/26 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 张兵兵 |
| 地址： | 454191 河南省焦作市工*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用原子力显微镜测量极片表面SEI膜厚度的方法。该方法包括：1)将经过充放电的极片在原子力显微镜下以PEAKFORCE QNM模式对其表面形态进行测量，得到初始表面形态数据；2)采用CONTACT模式对表面进行刻蚀，再切换到PEAKFORCE QNM模式对刻蚀后的表面形态进行测量，得到刻蚀后表面形态数据；3)重复步骤2)，直至刻蚀后表面形态数据不发生变化，切换到PEAKFORCE QNM模式对SEI膜的基体的表面形态进行测量，得到基体表面形态数据；4)根据初始表面形态数据和基体表面形态数据的差异，确定SEI膜的厚度。该方法通过交替使用两种测量模式提高了SEI膜厚度检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 表面形态 形态数据 刻蚀 原子力显微镜 测量极片 基体表面 测量 后表面 测量模式 厚度检测 交替使用 充放电 极片 重复 | ||
【主权项】：
1.一种利用原子力显微镜测量极片表面SEI膜厚度的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将经过充放电的极片在原子力显微镜下以PEAKFORCE QNM模式对其表面形态进行测量，得到初始表面形态数据；2)采用CONTACT模式对表面进行刻蚀，再切换到PEAKFORCE QNM模式对刻蚀后的表面形态进行测量，得到刻蚀后表面形态数据；3)重复步骤2)，直至刻蚀后表面形态数据不发生变化，切换到PEAKFORCE QNM模式对SEI膜的基体的表面形态进行测量，得到基体表面形态数据；4)根据初始表面形态数据和基体表面形态数据的差异，确定SEI膜的厚度。
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