[发明专利]激光加工装置有效
| 申请号： | 201810127358.9 | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108436287B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 能丸圭司 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/364 | 分类号： | B23K26/364;B23K26/402;B23K26/08;B23K26/064;B23K26/70;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供激光加工装置，结构简单但能够将加工方向与激光光线的分散方向维持为规定的关系。激光加工装置(2)包含：保持单元(6)，其对被加工物进行保持；激光光线照射单元(24)，其对被加工物照射激光光线；X方向移动单元，其对保持单元和激光光线照射单元在X方向上相对地进行加工进给；和Y方向移动单元，其对保持单元和激光光线照射单元在与X方向垂直的Y方向上相对地进行加工进给，激光光线照射单元包含：激光振荡器(242)，其振荡出激光光线；多面镜(245)，其使激光光线按照规定的分散角度分散并在X方向上进行扫描；聚光器(241)，其将在X方向上扫描的激光光线会聚于被加工物；和反转器(246)，其配设在多面镜与聚光器之间，使激光光线的扫描方向反转。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工装置，其中，该激光加工装置至少包含：保持单元，其对被加工物进行保持；激光光线照射单元，其对该保持单元所保持的被加工物照射激光光线；X方向移动单元，其对该保持单元和该激光光线照射单元在X方向上相对地进行加工进给；以及Y方向移动单元，其对该保持单元和该激光光线照射单元在与该X方向垂直的Y方向上相对地进行加工进给，该激光光线照射单元至少包含：激光振荡器，其振荡出激光光线；多面镜，其将该激光振荡器所振荡出的激光光线按照规定的分散角度分散并在X方向上进行扫描；聚光器，其使在X方向上扫描的激光光线会聚于该保持单元所保持的被加工物；以及反转器，其配设在该多面镜与该聚光器之间，使激光光线的扫描方向反转。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社迪思科，未经株式会社迪思科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810127358.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种食品激光打标机装置
- 下一篇：一种针对脆性材料的裂片分割装置及分割方法
