[发明专利]一种晶圆搬运机械手在审
| 申请号： | 201810127645.X | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108356804A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 陈胜华 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/04 | 分类号： | B25J9/04;B25J9/12;B25J17/02 |
| 代理公司： | 北京君恒知识产权代理事务所(普通合伙) 11466 | 代理人： | 金弘毅 |
| 地址： | 315400 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种晶圆搬运机械手，涉及一种半导体制造技术，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节，伸展电机、一级关节、二级关节和所述的三级关节依次传动，手指固定座始终保持直线运动。与现有技术相比，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。 | ||
| 搜索关键词： | 伸展臂 关节 伸展 手指固定 搬运机械手 电机 机械手 种晶 半导体制造技术 工艺设备要求 半导体设备 承重能力 传送过程 晶片中心 维护方便 整体刚度 重复定位 升降轴 旋转轴 传动 保证 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节，所述的伸展电机、所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节依次传动，所述的手指固定座始终保持直线运动。
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