[发明专利]硅棒多线切割设备及方法、硅棒转运系统在审

专利信息
申请号: 201810136989.7 申请日: 2018-02-09
公开(公告)号: CN110126109A 公开(公告)日: 2019-08-16
发明(设计)人: 卢建伟;潘雪明 申请(专利权)人: 浙江集英精密机器有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04
代理公司: 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 代理人: 王丽丹
地址: 314400 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本申请公开一种硅棒多线切割设备及方法、硅棒转运系统,该硅棒多线切割设备包括工作台、硅棒转换装置和线切割装置,其中,利用硅棒转换装置可将承载的硅棒在等待区、第一切割区以及第二切割区之间转换,利用线切割装置中的至少一第一线切割单元对应于第一切割区的硅棒承载台所承载的待切割硅棒进行开方切割以及利用线切割装置中的至少一第二线切割单元对应于第二切割区的硅棒承载台所承载的已开方硅棒进行倒角切割,如此,可实现硅棒的快速且便捷地转换,能一并完成硅棒的开方切割和倒角切割,提高了硅棒的切割作业效率。
搜索关键词: 硅棒 切割 切割区 多线切割设备 线切割装置 开方 线切割单元 转换装置 转运系统 承载台 承载 倒角 作业效率 等待区 工作台 转换 申请
【主权项】:
1.一种硅棒多线切割设备,其特征在于,包括:工作台,依序设有等待区、第一切割区以及第二切割区;硅棒转换装置,设于所述工作台上,包括:转换工作台,设有多个硅棒承载台;转换驱动机构,用于驱动所述转换工作台作转换运动以令所述多个硅棒承载台在等待区、第一切割区以及第二切割区之间转换;以及线切割装置,设有与所述第一切割区对应的至少一第一线切割单元和与所述第二切割区对应的至少一第二线切割单元;所述至少一第一线切割单元用于对所述硅棒转换装置中对应于第一切割区的硅棒承载台所承载的待切割硅棒进行开方切割,所述至少一第二线切割单元用于对所述硅棒转换装置中对应于第二切割区的硅棒承载台所承载的已开方硅棒进行倒角切割。
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