[发明专利]一种LED基板烘烤箱及其基板烘烤方法在审
| 申请号： | 201810138218.1 | 申请日： | 2018-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN108231634A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 赵少芹 | 申请（专利权）人： | 六安联众工业自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/687;H01L33/48 |
| 代理公司： | 六安众信知识产权代理事务所(普通合伙) 34123 | 代理人： | 熊伟 |
| 地址： | 237000 安徽省六安市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的是一种LED基板烘烤箱及其基板烘烤方法，包括烘烤箱体和LED基板，所述的烘烤箱体内设有红外线烘烤器和基板烘烤固定装置，所述的红外线烘烤器设为两个对称固定在烘烤箱体顶端的两侧，所述的红外线烘烤器对准基板烘烤固定装置内的LED基板设置，所述的基板烘烤固定装置包括固定板和驱动电机，所述的驱动电机固定在烘烤箱体内侧面，驱动电机通过旋转轴与固定板一端的调节杆连接，能够同时对基板的两面进行烘烤，有效的提高烘烤的效率，同时对烘烤的温度和时间进行有效的控制，能够有效的提高烘烤的质量，降低基板烘烤的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 基板烘烤 烘烤 烘烤箱 红外线烘烤 固定装置 驱动电机 烘烤箱体 固定板 体内 对称固定 对准基板 调节杆 对基板 旋转轴 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种LED基板烘烤箱，包括烘烤箱体和LED基板，其特征在于：所述的烘烤箱体内设有红外线烘烤器和基板烘烤固定装置，所述的红外线烘烤器设为两个对称固定在烘烤箱体顶端的两侧，所述的红外线烘烤器对准基板烘烤固定装置内的LED基板设置，所述的基板烘烤固定装置包括固定板和驱动电机，所述的驱动电机固定在烘烤箱体内侧面，驱动电机通过旋转轴与固定板一端的调节杆连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
