[发明专利]一种制备硫化锌膜的方法在审
| 申请号： | 201810141781.4 | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN108330444A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 余赞;周振烈;罗臻;钱正宇;钟文;陆强;李侠;杜建军 | 申请（专利权）人： | 常德金德新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/26;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 415001 湖南省常德*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种制备硫化锌膜的方法，包括以下步骤：将石英管安装在蒸发槽内；将钼舟平整安装在石英管上方，使钼舟与蒸发槽内石英管平行；将钼舟与蒸发槽内正负电极座牢固连接在一起；将硫化锌放在钼舟上；将膜放在放卷装置上进行装膜；将膜与蒸发槽送入真空仓中，在真空镀膜机内进行蒸发镀膜；关蒸发降温，使室内空气进入真空仓，取膜，得到硫化锌膜。本申请提出在蒸发槽内加装石英管，钼舟平整安装在石英管上方，石英管垫在钼舟底部对钼舟起到散热和支撑垫平的作用，钼舟平整放置使得硫化锌在真空仓中蒸发均匀。采用该方法制备的硫化锌膜，改变了硫化锌的排列方式，制得的硫化锌膜均匀性好、排列整齐，且制备硫化锌膜的生产效率显著提高。 | ||
| 搜索关键词： | 钼舟 硫化锌膜 石英管 蒸发槽 制备 硫化锌 真空仓 平整 蒸发 真空镀膜机 放卷装置 均匀性好 牢固连接 排列方式 排列整齐 生产效率 室内空气 蒸发镀膜 正负电极 支撑垫 散热 加装 申请 平行 送入 | ||
【主权项】：
1.一种制备硫化锌膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：将石英管安装在蒸发槽内；将钼舟平整安装在石英管上方，使钼舟与蒸发槽内石英管平行；将钼舟与蒸发槽内正负电极座牢固连接在一起；将硫化锌放在钼舟上；将膜放在放卷装置上进行装膜；将膜与蒸发槽送入真空仓中，在真空镀膜机内进行蒸发镀膜；关蒸发降温，使室内空气进入真空仓，取膜，得到硫化锌膜。
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