[发明专利]用于在线测量微阵列的质量的方法在审
| 申请号： | 201810145104.X | 申请日： | 2018-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN108458749A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 顾子琨;钟曜光;王于祯;刘柏言 | 申请（专利权）人： | 台湾生捷科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 黄勇 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 公开一种用于在线测量微阵列的质量的方法并且包含以下步骤。提供固体基底，其中所述固体基底包括阵列排列的多个区域。通过多个合成步骤将至少一个生物标记原位合成在所述多个区域中的至少一个区域上，其中在执行所述多个合成步骤中的至少一个合成步骤之后，立即通过原子力显微镜对所述至少一个生物标记的半成品执行检查步骤，以获得在线测量结果。基于所述在线测量结果确定所述至少一个生物标记的所述半成品的质量。用于在线测量微阵列的质量的方法使得微阵列具有经降低成本或经改进的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 在线测量 微阵列 合成步骤 生物标记 基底 半成品 原子力显微镜 结果确定 原位合成 阵列排列 良率 改进 检查 | ||
【主权项】：
1.一种用于在线测量微阵列的质量的方法，其特征在于，包括：提供固体基底，其中所述固体基底包括阵列排列的多个区域；通过多个合成步骤将至少一个生物标记原位合成在所述多个区域中的至少一个区域上，其中在执行所述多个合成步骤中的至少一个合成步骤之后，立即通过原子力显微镜对所述至少一个生物标记的半成品执行检查步骤，以获得在线测量结果；以及基于所述在线测量结果确定所述至少一个生物标记的所述半成品的质量。
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