[发明专利]测量系统及其测量方法有效

专利信息
申请号: 201810150393.2 申请日: 2018-02-13
公开(公告)号: CN110161977B 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 林祐瑄;刘大纲 申请(专利权)人: 京元电子股份有限公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 中国台湾新*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明提供一种测量系统,包含:主控装置以及多个测量工作站。每个测量工作站各自与主控装置连接,且各自对应一待测元件;其中,测量工作站根据主控装置的指令而同时对所对应的待测元件进行共同项目测量程序,且测量工作站还依照所对应的待测元件的需求而各自进行可调整测量项目的特定项目测量程序,其中至少两个特定项目测量程序的部分进行期间会重叠。
搜索关键词: 测量 系统 及其 测量方法
【主权项】:
1.一种测量系统,包含:一主控装置;以及多个测量工作站,各自与该主控装置连接,且每个测量工作站各自对应一待测元件;其中,该些测量工作站根据该主控装置的一指令而同时对所对应的该待测元件进行一共同项目测量程序,且该些测量工作站还依照所对应的该待测元件的需求而各自进行可调整测量项目的一特定需求项目测量程序,其中至少两个特定需求项目测量程序的部分进行期间会重叠。
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