[发明专利]立式晶舟

摘要

本发明涉及一种立式晶舟，其中，该立式晶舟具有顶板、底板、3根支柱和晶圆支承部，所述支柱由在晶圆插入始端侧的左右两侧配置的第1和第2支柱以及在晶圆插入终端侧的中央配置的第3支柱构成，所述晶圆支承部包含从所述第1、第2和第3支柱的侧面分别向水平方向突出的第1、第2和第3晶圆支承部，所述第1晶圆支承部与第1支柱的水平方向的合计截面积以及所述第2晶圆支承部与第2支柱的水平方向的合计截面积与所述第3晶圆支承部与第3支柱的水平方向的合计截面积具有预定的关系。

主权项

1.一种立式晶舟，其特征在于，所述立式晶舟具有：顶板；底板；3根支柱，所述支柱的一端被固定在所述顶板，另一端被固定在底板；以及晶圆支承部，所述支柱由被配置在晶圆插入始端侧的左右两侧的第1和第2支柱以及被配置在晶圆插入终端侧的中央的第3支柱构成，所述晶圆支承部包括从所述第1、第2和第3支柱的侧面分别向水平方向突出的第1、第2和第3晶圆支承部，在将所述第1晶圆支承部与第1支柱的水平方向的合计截面积以及所述第2晶圆支承部与第2支柱的水平方向的合计截面积表示为Sa，将所述第3晶圆支承部与第3支柱的水平方向的合计截面积表示为Sb时，由以下式定义的比率的绝对值为1％以下。比率(％)＝100×(Sa‑Sb)/(Sa+Sb)