[发明专利]感光性树脂组合物及感光性树脂层叠体

摘要

提供即使在过度显影、过度水洗、显影液高温这种苛刻的显影条件下密合性和分辨力也优异的感光性树脂组合物，以及使用其的层叠体及抗蚀图案的形成方法和线路板的制造方法。该组合物包含：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和键的化合物；和(C)光聚合引发剂；和(D)抑制剂，其中，相对于树脂组合物中的固体成分质量，(A)碱溶性高分子含有5质量％以上的I/O值为0.200～0.560的(A‑1)碱溶性高分子，(D)抑制剂含有苯酚衍生物；将该固体成分中所含的(A)碱溶性高分子和(B)具有烯属不饱和键的化合物以外的物质作为除(A)和(B)以外的成分时，除(A)和(B)以外的成分的质量与(B)具有烯属不饱和键的化合物的质量的比为0.190以下。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，包含：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和键的化合物；(C)光聚合引发剂；和(D)抑制剂；相对于所述感光性树脂组合物中的全部固体成分质量，所述(A)碱溶性高分子含有5质量％以上的I/O值为0.200～0.560的(A‑1)碱溶性高分子，且所述(D)抑制剂含有苯酚衍生物，将所述感光性树脂组合物的固体成分中所含的所述(A)碱溶性高分子和所述(B)具有烯属不饱和键的化合物以外的物质作为除(A)和(B)以外的成分时，所述除(A)和(B)以外的成分的质量与所述(B)具有烯属不饱和键的化合物的质量的比为0.190以下。