[发明专利]波长可变干涉滤波器及光学模块有效
| 申请号： | 201810156107.3 | 申请日： | 2018-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN108508592B | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 佐野朗 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G02B5/28 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及波长可变干涉滤波器及光学模块。波长可变干涉滤波器的特征在于，包括：第一基板，设置有第一反射膜；以及第二基板，具备可动部和保持部，与所述第一反射膜相对的第二反射膜设置于可动部，保持部包围所述可动部的外周，并将所述可动部保持为能够在所述第二反射膜的厚度方向上位移，所述可动部在俯视观察时具有长边及短边，所述保持部包括沿所述长边设置的长边侧保持部和沿所述短边设置的短边侧保持部，所述短边侧保持部的刚度低于所述长边侧保持部的刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 可变 干涉 滤波器 光学 模块 | ||
【主权项】：
1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，包括：第一基板，设置有第一反射膜；以及第二基板，所述第二基板具备可动部和保持部，与所述第一反射膜相对的第二反射膜设置于所述可动部，所述保持部包围所述可动部的外周，并保持所述可动部，所述可动部在俯视观察时具有长边和短边，所述保持部包括沿所述长边设置的长边侧保持部和沿所述短边设置的短边侧保持部，所述短边侧保持部的刚度低于所述长边侧保持部的刚度。
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