[发明专利]一种固体颗粒材料的镀膜方法在审
申请号: | 201810159063.X | 申请日: | 2018-02-26 |
公开(公告)号: | CN108315693A | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 王德苗;顾骏;秦正春;金浩;冯斌 | 申请(专利权)人: | 苏州求是真空电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种固体颗粒材料的镀膜方法,包括1)在传统镀膜装置的真空室内设置搅拌机;2)预处理需要镀膜的固体颗粒;3)将预处理后的固体颗粒放入搅拌机;4)给固体颗粒进行单层镀膜,同时开启搅拌机搅拌固体颗粒;5)重复步骤4,直至完成所有膜层的镀覆。本发明工艺简单,稳定易控制,可以实现固体颗粒各个面的同一时间的较为均匀的镀膜。 | ||
搜索关键词: | 镀膜 搅拌机 预处理 固体颗粒材料 镀膜装置 单层 镀覆 放入 膜层 室内 重复 | ||
【主权项】:
1.一种固体颗粒材料的镀膜方法,其特征在于:包括以下步骤,1)在传统镀膜装置的真空室内设置搅拌机;2)预处理需要镀膜的固体颗粒;3)将预处理后的固体颗粒放入搅拌机;4)给固体颗粒进行单层镀膜,同时开启搅拌机搅拌固体颗粒;5)重复步骤4,直至完成所有膜层的镀覆。
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