[发明专利]一种固体颗粒材料的镀膜方法在审

专利信息
申请号: 201810159063.X 申请日: 2018-02-26
公开(公告)号: CN108315693A 公开(公告)日: 2018-07-24
发明(设计)人: 王德苗;顾骏;秦正春;金浩;冯斌 申请(专利权)人: 苏州求是真空电子有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种固体颗粒材料的镀膜方法,包括1)在传统镀膜装置的真空室内设置搅拌机;2)预处理需要镀膜的固体颗粒;3)将预处理后的固体颗粒放入搅拌机;4)给固体颗粒进行单层镀膜,同时开启搅拌机搅拌固体颗粒;5)重复步骤4,直至完成所有膜层的镀覆。本发明工艺简单,稳定易控制,可以实现固体颗粒各个面的同一时间的较为均匀的镀膜。
搜索关键词: 镀膜 搅拌机 预处理 固体颗粒材料 镀膜装置 单层 镀覆 放入 膜层 室内 重复
【主权项】:
1.一种固体颗粒材料的镀膜方法,其特征在于:包括以下步骤,1)在传统镀膜装置的真空室内设置搅拌机;2)预处理需要镀膜的固体颗粒;3)将预处理后的固体颗粒放入搅拌机;4)给固体颗粒进行单层镀膜,同时开启搅拌机搅拌固体颗粒;5)重复步骤4,直至完成所有膜层的镀覆。
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