[发明专利]用于铜CMP在线测量的电涡流传感器探头在审
| 申请号： | 201810159435.9 | 申请日： | 2018-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN108387168A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 李弘恺;刘卫国;李静;赵德文;王同庆;路新春;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学;天津华海清科机电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于铜CMP在线测量的电涡流传感器探头，所述用于铜CMP在线测量的电涡流传感器探头包括：铜线圈；封装件，所述铜线圈通过所述封装件封装，所述封装件包括：探头底座，所述探头底座上形成有安装槽；线圈固定件，所述线圈固定件安置在所述安装槽处，所述线圈固定件上表面有凹槽，所述铜线圈安置在所述凹槽内。根据本发明的用于铜CMP在线测量的电涡流传感器探头，通过凹槽可以使所述铜线圈安置在线圈固定件中，并且通过安装槽可以使线圈固定件与探头底座相连，结构简单，且易于实现所述铜线圈的封装。 | ||
| 搜索关键词： | 线圈固定件 铜线圈 电涡流传感器 在线测量 探头 探头底座 安装槽 封装件 封装 安置 上表面 | ||
【主权项】：
1.一种用于铜CMP在线测量的电涡流传感器探头，其特征在于，包括：铜线圈；封装件，所述铜线圈通过所述封装件封装，所述封装件包括：探头底座，所述探头底座上形成有安装槽；线圈固定件，所述线圈固定件安置在所述安装槽处，所述线圈固定件上表面有凹槽，所述铜线圈通过所述凹槽安置在所述线圈固定件中。
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