[发明专利]一种旋转式硅片清洗辅助装置

摘要

本发明公开了一种旋转式硅片清洗辅助装置，属于硅片生产技术领域。该装置包括底部框架、滚轴和齿轮驱动机构，所述底部框架上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和第二通孔相对设置形成一组对穿孔，所述滚轴的两端分别穿设于第一通孔和第二通孔内，所述滚轴的左端设有驱动齿轮，所述齿轮驱动机构包括伺服电机、第一伞状齿轮、第二伞状齿轮和主齿轮，所述伺服电机的输出端和第一伞状齿轮通过传动轴传动连接，所述第一伞状齿轮和第二伞状齿轮相啮合，所述第二伞状齿轮和主齿轮通过连接轴传动连接，所述主齿轮与驱动齿轮相啮合。该装置在硅片清洗过程中，通过滚轴驱动硅片在硅片承载花篮中转动，提高了硅片的清洗质量。

主权项

1.一种旋转式硅片清洗辅助装置，其特征在于，该装置包括底部框架(1)、滚轴(2)和齿轮驱动机构，所述底部框架(1)上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和第二通孔相对设置形成一组对穿孔，所述滚轴(2)的两端分别穿设于第一通孔和第二通孔内，所述滚轴(2)的左端设有驱动齿轮(3)，所述齿轮驱动机构包括伺服电机(4)、第一伞状齿轮(5)、第二伞状齿轮(6)和主齿轮，所述伺服电机(4)的输出端和第一伞状齿轮(5)通过传动轴(7)传动连接，所述第一伞状齿轮(5)和第二伞状齿轮(6)相啮合，所述第二伞状齿轮(6)和主齿轮通过连接轴传动连接，所述主齿轮与驱动齿轮(3)相啮合。