[发明专利]单边上片机

摘要

本发明公开了一种单边上片机，其包括载具、载具传输机构、取片机构、硅片传输机构和检测机构，所述载具内呈平行的设置有若干第一插槽，承载有硅片的载具藉由所述载具传输机构传输至升降台上，所述取片机构与所述升降台对接，所述取片机构具有可伸缩的第一传送件，藉由所述升降台的升降使得所述第一传送件伸入所述载具内取出硅片，所述硅片传输机构与所述取片机构对接，硅片藉由所述第一传送件传输至所述硅片传输机构，所述硅片传输机构将硅片传输至下一工位，所述检测机构与所述硅片传输机构对接，所述硅片传输机构传输硅片于所述检测机构。综上，本发明的单边上片机能够为工作人员提供调试空间并实现硅片的上片和检测全自动，且提高工作效率。

主权项

1.一种单边上片机，适用于对载具中的硅片进行传输和抽样检测，其特征在于，所述单边上片机包括：载具，所述载具内呈平行的设置有若干供硅片插入的第一插槽；载具传输机构，承载有硅片的载具藉由所述载具传输机构传输至一升降台上；取片机构，所述取片机构与所述升降台对接，所述取片机构具有可伸缩的第一传送件，藉由所述升降台的升降使得所述第一传送件伸入所述升降台上的载具内逐一取出硅片；硅片传输机构，所述硅片传输机构与所述取片机构对接，硅片藉由所述第一传送件传输至所述硅片传输机构，所述硅片传输机构将硅片传输至下一工位；检测机构，所述检测机构与所述硅片传输机构对接，所述硅片传输机构选择性的传输硅片于所述检测机构中。