[发明专利]一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备及方法在审

专利信息
申请号: 201810163934.5 申请日: 2018-02-27
公开(公告)号: CN108211547A 公开(公告)日: 2018-06-29
发明(设计)人: 李方;李军;孔德东;刘建永 申请(专利权)人: 大连连城数控机器股份有限公司
主分类号: B01D46/02 分类号: B01D46/02;B01D46/04;B01D46/44
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 张大保;李馨
地址: 116000 辽宁省大连市甘井子区营城*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明公开了一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备及方法,包括除尘器筒体、进气口、清灰口、过滤装置、过滤布袋、过滤布袋下安装盘、过滤布袋上安装盘、布袋安装口、出气口、除尘器上盖、泄压阀和电磁阀。由于采用了上述技术方案,本发明涉及的一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备及方法,能够防止有毒挥发物对操作人员的伤害,保护操作人员的身体健康,能够简化除尘设备清理过程,提高设备的稳定性和耐用性,能够极大的提高生产效率,具有广阔的市场前景。
搜索关键词: 除尘设备 单晶硅生长 过滤布袋 自动清洁 挥发物 进气口 除尘器筒体 过滤装置 上安装盘 生产效率 下安装盘 安装口 出气口 除尘器 电磁阀 耐用性 清灰口 泄压阀 布袋 上盖 伤害
【主权项】:
1.一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备,其特征在于:包括除尘器筒体(1)、进气口(2)、清灰口(3)、过滤装置(4)、过滤布袋(5)、过滤布袋下安装盘(6)、过滤布袋上安装盘(7)、布袋安装口(10)、出气口(11)、除尘器上盖(12)、泄压阀(15)和电磁阀(14);所述除尘器上盖(12)连接于所述除尘器筒体(1)顶部,所述电磁阀(14)和所述泄压阀(15)分别设置于所述除尘器上盖(12)两侧的所述除尘器筒体(1)顶部,所述泄压阀(15)下端与所述除尘器筒体(1)内部相连通;所述过滤布袋上安装盘(7)固定于所述除尘器筒体(1)上部内侧壁上,所述过滤布袋下安装盘(6)连接于所述过滤布袋上安装盘(7)下侧,所述过滤布袋(5)固定于所述过滤布袋下安装盘(6)上;所述出气口(11)连接于所述除尘器筒体(1)上部,所述布袋安装口(10)连接于所述除尘器筒体(1)中部两侧;所述进气口(2)和所述清灰口(3)分别连接于所述除尘器筒体(1)底部两侧,所述过滤装置(4)固定于所述除尘器筒体(1)底部内,所述过滤装置(4)两端分别与所述进气口(2)和所述清灰口(3)相连接。
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