[发明专利]光刻机安全快门装置有效
| 申请号： | 201810164315.8 | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN110196532B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 王彦飞;章富平;贾翔 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机安全快门装置，包括开设有通光孔的罩壳、驱动体、执行体和传动体。驱动体安装于罩壳的外侧壁上；执行体具有完全遮蔽通光孔的第一位置和完全不遮蔽通光孔的第二位置；传动体分别与驱动体和执行体连接，驱动体通过传动体驱动执行体遮蔽或打开通光孔。上述的光刻机安全快门能够有效提高光刻机曝光效率和曝光精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 安全 快门 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机安全快门装置，包括开设有通光孔(11)的罩壳(10)，其特征在于，还包括：驱动体(20)，安装于所述罩壳(10)的外侧壁上；执行体(30)，具有完全遮蔽所述通光孔(11)的第一位置和完全不遮蔽所述通光孔(11)的第二位置；传动体(40)，分别与所述驱动体(20)和所述执行体(30)连接，所述驱动体(20)通过所述传动体(40)驱动所述执行体(30)遮蔽或打开所述通光孔(11)。
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