[发明专利]阵列基板、显示面板、显示装置及制作方法

摘要

本发明公开了一种阵列基板、显示面板、显示装置及制作方法，属于显示设备领域。该阵列基板包括第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，第一薄膜晶体管包括第一栅极、第一源极、第一漏极以及第一有源层，第一源极和第一漏极分别通过过渡源极和过渡漏极与第一有源层连接；第二薄膜晶体管包括第二栅极、第二源极、第二漏极以及第二有源层，由于第二有源层位于过渡源极和过渡漏极所在层和第二栅极所在层之上，因此过渡源极和过渡漏极在第二有源层之前进行制作，在制作过渡源极和过渡漏极时就可以制作出用于连接第一有源层和过渡源极、过渡漏极的过孔，采用HF通过过孔对第一有源层进行清洗，从而避免了第二有源层受到腐蚀，有利于提高产品的良率。

主权项

1.一种阵列基板，其特征在于，包括第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管包括第一栅极、第一源极、第一漏极以及采用低温多晶硅制成的第一有源层，所述第一源极和所述第一漏极分别通过过渡源极和过渡漏极与所述第一有源层连接，所述过渡源极、所述过渡漏极以及所述第一栅极同层设置，且所述第一栅极位于所述过渡源极和所述过渡漏极之间；所述第二薄膜晶体管包括第二栅极、第二源极、第二漏极以及采用金属氧化物制成的第二有源层，所述第二有源层位于所述过渡源极和所述过渡漏极所在层和所述第二栅极所在层之上，所述第二源极、所述第二漏极、所述第一源极和所述第一漏极同层设置。