[发明专利]夹持装置及包括其的掩模组件制造装置

摘要

提供了夹持装置及包括该夹持装置的掩模组件制造装置。根据本发明一实施方式的夹持装置作为包括夹持单元和使夹持单元移动的拉伸单元的夹持装置，其中，夹持单元包括基础台、相隔开地布置在基础台上的第一驱动台和第二驱动台，以及布置在第一驱动台上的第一指部和布置在第二驱动台上的第二指部。

主权项

1.夹持装置，包括：夹持单元；以及拉伸单元，所述拉伸单元使所述夹持单元移动，其中，所述夹持单元包括：基础台；第一驱动台和第二驱动台，所述第一驱动台和所述第二驱动台相隔开地布置在所述基础台上；以及第一指部和第二指部，所述第一指部布置在所述第一驱动台上，且所述第二指部布置在所述第二驱动台上，其中，所述第一驱动台和所述第二驱动台分别在选自x轴方向、y轴方向和z轴方向中的任意一个方向上进行移动，或者将选自在所述y轴方向上延伸的第一旋转轴线、在所述x轴方向上延伸的第二旋转轴线和在所述z轴方向上延伸的第三旋转轴线中的任意一个旋转轴线作为轴线进行旋转，以及其中，所述拉伸单元使所述夹持单元在所述x轴方向或所述y轴方向上移动。