[发明专利]液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质有效
| 申请号： | 201810181802.5 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN108568383B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 宫崎一仁;柿野彰;吉富济 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;B05C13/02 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。在向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置中，提高从液滴排出头向工件的液滴的着液精度。控制部(150)在使由液滴排出头(34)排出的液滴着液在形成于基准工件(Wf)的上表面的基准标记后，由第二拍摄部(42)获取基准工件(W)的拍摄图像，根据拍摄图像，检测基准标记的位置与液滴的着液位置的位置偏离量，根据位置偏离量，计算工作台(20)与液滴排出头(34)的相对位置的修正量。 | ||
| 搜索关键词： | 排出 装置 方法 程序 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种液滴排出装置，其向工件排出功能液的液滴来进行描绘，所述液滴排出装置的特征在于，包括：载置所述工件的工作台；向载置于所述工作台的所述工件排出液滴的液滴排出头；移动机构，其使所述工作台和所述液滴排出头在主扫描方向、与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上相对地移动；拍摄部，其设置于主扫描方向的所述液滴排出头的下游侧，用于获取所述工件的拍摄图像；和控制部，其计算所述工作台和所述液滴排出头的相对位置的修正量，基于该修正量来控制所述移动机构，所述工件包括在计算所述修正量时使用的、在上表面形成有多个基准标记的基准工件，所述控制部使从所述液滴排出头排出的液滴着液在所述基准标记后，由所述拍摄部获取所述基准工件的拍摄图像，基于所述拍摄图像，来检测所述基准标记的位置与所述液滴的着液位置的位置偏离量，基于所述位置偏离量来计算所述修正量。
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