[发明专利]一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法

摘要

一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法，通过对透射电镜块体样品薄区孔的记录，来测量透射电镜块体样品再检测时相对第一检测时的旋转角度，求出第二次检测时透射电镜块体样品坐标系相对第一次检测时样品坐标系的旋转矩阵，进而根据第一次检测时特征区域的样品台坐标X、Y、Z、α、β来计算第二次检测的新坐标，可快速找到这些特征区域，实现使用透射电镜对同一特征区域进行数据补充，也可用于确保样品在不同透射电镜下检测同一特征区域。本发明具有以下优点：不需要添加硬件设备，操作简单，易行；而且计算简单，易于编程实现，可作为透射电子显微镜精确分析的辅助工具。

主权项

1.一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法，其特征在于：具体包括以下步骤：步骤一、拍摄块体透射电镜样品薄区孔图像：第一次检测样品时，在低倍数下找到样品的薄区孔，将其放置到视场中心，调节放大倍数获取薄区孔的完整形状；步骤二、检测样品并记录特征区域坐标参数：检测样品时，对于每一特征区域的坐标参数进行记录X0、Y0、Z0、α0、β0；步骤三、分析第一次检测结果：系统分析第一次检测结果，查漏补缺，对于需要补充数据的特征区域，找出与之相应的坐标参数X₀、Y₀、Z₀、α₀、β₀，并利用以下公式将坐标换算成样品杆没有倾转时的坐标(x，y)，步骤四、再次检测样品，拍摄块体透射电镜样品薄区孔图像：第二次将样品放入透射电镜，在低倍数下找到样品的薄区孔，将其放置到视场中心，拍摄与步骤一放大倍数相同的薄区孔图像；步骤五、确定再次检测时的样品放置状态：根据第二次薄区孔和第一薄区孔的形状的对比，确定再次检测时样品放置状态，样品是否发生180°翻转，并测量两次薄区孔重合所需沿Z轴的逆时针旋转角度θ；步骤六、计算再次检测时需补充检测步骤三中特征区域的坐标(x1，y1)：根据步骤五确定的放置状态：(1)再次检测时样品放置没有发生180°翻转时，步骤三中需补充数据特征区域的新坐标为：x1＝xcosθ‑ysinθ，y1＝xsinθ+ycosθ，(2)再次检测时样品放置发生180°翻转，步骤三中需补充数据特征区域的新坐标为：x1＝xcosθ+ysinθ，y1＝xsinθ‑ycosθ。