[发明专利]多晶硅还原尾气中二氯二氢硅的回收方法和回收装置有效
| 申请号： | 201810187933.4 | 申请日： | 2018-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN110240165B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 叶冬梅;张凯兴;夏祥剑;胡启红;刘帅;李禄元;倪志伟;米军 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C01B3/52 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;杜丹丹 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅还原尾气中二氯二氢硅的回收方法，包括：对还原尾气进行低压冷凝处理，以将还原尾气中的氯硅烷完全冷凝下来，从而分离出气相的氢气、氯化氢和微量杂质及液相氯硅烷；利用吸收液对气相的氢气、氯化氢和微量杂质进行吸收处理，以吸收其中的氯化氢和微量杂质，从而分离出氢气并送往多晶硅生产工序，而吸收了氯化氢和微量杂质的吸收液作为富液氯硅烷与液相氯硅烷混合后形成氯硅烷混合液；对氯硅烷混合液逐步进行分离处理，以逐步分离出液相四氯化硅、液相三氯氢硅、液相二氯二氢硅和气相氯化氢，液相四氯化硅中的至少一部分用作吸收液。相应地，提供一种回收装置。本发明能够有效提高回收氢气的品质，降低系统能耗和蒸汽消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 尾气 中二氯二氢硅 回收 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅还原尾气中二氯二氢硅的回收方法，所述还原尾气包括氢气、氯化氢、氯硅烷和微量杂质，所述氯硅烷包括二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，其特征在于，所述回收方法包括如下步骤：对所述还原尾气进行低压冷凝处理，以将还原尾气中的氯硅烷完全冷凝下来，从而分离出气相的氢气、氯化氢和微量杂质，以及液相氯硅烷；利用吸收液对所述气相的氢气、氯化氢和微量杂质进行吸收处理，以吸收其中的氯化氢和微量杂质，从而分离出氢气并送往多晶硅生产工序，而吸收了氯化氢和微量杂质的吸收液作为富液氯硅烷与所述液相氯硅烷混合后形成氯硅烷混合液；对所述氯硅烷混合液逐步进行分离处理，以逐步分离出液相四氯化硅、液相三氯氢硅、液相二氯二氢硅和气相氯化氢，其中分离出的液相四氯化硅中的至少一部分用作吸收液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新特能源股份有限公司，未经新特能源股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810187933.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：氟硅酸浓缩的方法及装置
- 下一篇：一种SiO
