[发明专利]热式空气流量计有效
| 申请号： | 201810190200.6 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN108458762B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 绪方公俊;石塚典男;松本昌大 | 申请（专利权）人： | 日立汽车系统株式会社 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为了提供测量精度高的热式流量计，采用以下结构：具有流量检测部、用于配置上述流量检测部的副通路和被输入从上述流量检测部得到的信号且向外部输出信号的LSI，上述副通路的侧壁配置在上述流量检测部与上述LSI之间或者配置在上述LSI上，设置在上述LSI的内部的扩散电阻的长度方向与单晶硅的100轴平行。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 流量计 | ||
【主权项】：
1.一种热式空气流量计，其特征在于，包括：流量检测部；用于配置所述流量检测部的副通路；和被输入从所述流量检测部得到的信号，且向外部输出信号的LSI，所述副通路的侧壁配置在所述流量检测部与所述LSI之间或者配置在所述LSI上，设置在所述LSI的内部的扩散电阻的长度方向与单晶硅的<100>轴平行。
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