[发明专利]电源一体型真空泵有效
| 申请号： | 201810200633.5 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108730205B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 酒井春彦;森山伸彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D25/06;F04D29/58 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的电源一体型真空泵能够防止冷却面结露。电源一体型真空泵(1)是泵单元(20)与电源单元(30)成为一体的真空泵，其包括：基板(311)，配置于电源单元(30)，并安装电子组件；冷却套管(302)，具有以与基板(311)接触的方式受到固定的冷却面(303)；以及隔热板(350a、350b)，热传导率小于构成冷却面(303)的材料的热传导率，且覆盖冷却面(303)的未固定有基板(311)的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 电源 体型 真空泵 | ||
【主权项】：
1.一种电源一体型真空泵，其是泵主体与泵电源装置成为一体的电源一体型真空泵，其特征在于包括：基板，配置于所述泵电源装置，并安装电子组件；冷却装置，具有以与所述基板接触的方式受到固定的冷却面；以及隔热部件，热传导率小于构成所述冷却面的材料的热传导率，且覆盖所述冷却面的未固定有所述基板的区域。
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