[发明专利]一种蒸发源的搬送装置在审
| 申请号： | 201810201885.X | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108486532A | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 藤野诚治;朱晓庆;高峰;王宝友;陈祥麟 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发源的搬送装置，属于真空蒸镀设备技术领域，蒸发源的搬送装置包括：基座；导轨组件；机械手，平移地安装至导轨组件；连接臂组，包括至少两个依次枢转连接的连接臂，至少两个连接臂中包括与基座连接的首连接臂以及与机械手连接的末连接臂；驱动组件，包括连接于基座与首连接臂之间的驱动部以及连接相邻连接臂的传动部，驱动部与传动部配合带动各连接臂摆动，以在导轨组件限定下驱动连接臂组伸长或缩短。本发明提供的蒸发源的搬送装置其连接臂组可以在驱动部的驱动下拉伸或缩短，具有较高的传送蒸发源的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 连接臂 蒸发源 搬送装置 导轨组件 驱动 机械手 连接臂组 传动部 真空蒸镀设备 平移 基座连接 驱动连接 驱动组件 枢转连接 伸长 摆动 臂组 拉伸 传送 配合 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源的搬送装置，其特征在于，包括：基座；导轨组件；机械手，活动连接所述导轨组件；连接臂组，包括至少两个依次枢转连接的连接臂，所述至少两个连接臂中包括与所述基座连接的首连接臂以及与所述机械手连接的末连接臂；驱动组件，包括连接于基座与首连接臂之间的驱动部以及连接相邻连接臂的传动部，所述驱动部与传动部配合带动各连接臂摆动，以在所述导轨组件限定下驱动所述连接臂组伸长或缩短。
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