[发明专利]一种太阳能硅片制绒溶液的循环利用方法在审
| 申请号： | 201810205570.2 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108493295A | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 金柄生 | 申请（专利权）人： | 苏州晶瑞化学股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C30B33/10 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 李凤娇 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能硅片制绒溶液的循环利用方法，包括以下步骤：(1)用制绒溶液对太阳能硅片进行蚀刻处理，蚀刻后的混合溶液用反渗透膜循环分离装置在蚀刻槽中分离出氟硅酸杂质；(2)对分离杂质后的混合溶液中的氢氟酸和硝酸分别通过自动测量电位滴定仪和硝酸根离子选择性电极自动测量电位仪进行定量分析，得到蚀刻后混合溶液的组成浓度增减量；(3)根据组成浓度增减量，在蚀刻过程中或循环利用中添加浓度减少的酸，重新作为硅片的蚀刻溶液。本发明通过蚀刻过程中排出的混合废酸溶液的有效利用，经济效益显著，大大降低含有强酸成分的混合废酸溶液的排放，具有显著的环境效益。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 太阳能硅片 循环利用 制绒 混合溶液 自动测量 增减量 废酸 循环分离装置 电位滴定仪 混合溶液中 硝酸根离子 选择性电极 定量分析 反渗透膜 分离杂质 环境效益 浓度减少 蚀刻处理 蚀刻溶液 电位仪 氟硅酸 氢氟酸 蚀刻槽 硝酸 硅片 强酸 排放 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能硅片制绒溶液的循环利用方法，其特征在于包括以下步骤：(1)用制绒溶液对太阳能硅片进行蚀刻处理，蚀刻后的混合溶液用反渗透膜循环分离装置在蚀刻槽中分离出氟硅酸杂质；(2)对分离杂质后的混合溶液中的氢氟酸和硝酸分别通过自动测量电位滴定仪和硝酸根离子选择性电极自动测量电位仪进行定量分析，得到蚀刻后混合溶液的组成浓度增减量；(3)根据组成浓度增减量，在蚀刻过程中或循环利用中添加浓度减少的酸，重新作为硅片的蚀刻溶液。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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