[发明专利]纵式热处理装置和纵式热处理装置的运转方法

摘要

提供一种纵式热处理装置和纵式热处理装置的运转方法。在利用基板搬送机构将被从反应容器搬出的基板保持器具保持的热处理后的基板取出时，实现生产率的提高。在将多个晶圆以棚架状保持于作为基板保持器具的晶圆舟来搬入反应容器内进行热处理的纵式热处理装置中，在热处理后从冷却气体喷吹机构向被从所述反应容器搬出的晶圆舟喷吹冷却气体，并且利用翘曲检测部对被晶圆舟保持的晶圆检测翘曲。然后，利用晶圆搬送机构将被判定为没有翘曲的晶圆从晶圆舟取出。因此，能够对由于热处理而产生翘曲且翘曲随着温度的下降而收敛的晶圆检测其翘曲的收敛，因此能够在翘曲收敛的定时开始晶圆搬送机构的取出，能够实现生产率的提高。

主权项

1.一种纵式热处理装置，将多个基板以棚架状保持于基板保持器具来搬入纵式的反应容器内进行热处理，所述纵式热处理装置的特征在于，具备：基板搬送机构，其与所述基板保持器具进行基板的交接；翘曲检测部，其用于检测被从所述反应容器搬出的基板保持器具保持的热处理后的基板的翘曲；以及控制部，其输出控制信号，该控制信号用于利用所述基板搬送机构将根据所述翘曲检测部的检测结果被判定为没有翘曲的基板从所述基板保持器具取出。