[发明专利]一种工件温度检测装置及纳米材料制作设备在审
| 申请号： | 201810209477.9 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN108225593A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 刘忠林;毕凯 | 申请（专利权）人： | 嘉兴岱源真空科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;C23C14/35;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 姚海波 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种工件温度检测装置及纳米材料制作设备，通过热电偶连接真空腔室中的工件及转轴上的电偶端子，电偶端子通过转轴与活动端子连接，活动端子与环形端子盘活动接触，环形端子盘与温度测量仪表连接，如此将真空腔室中的工件的实际温度传导至温度测量仪表上进行测量，可准确测量工件的实际温度，经过试验得知不同材料的最佳镀膜温度并在生产中根据不同材料的最佳镀膜温度准确地控制工件的实际温度，以达到最佳镀膜效果。 | ||
| 搜索关键词： | 温度测量仪表 温度检测装置 环形端子 活动端子 纳米材料 真空腔室 制作设备 电偶 镀膜 转轴 热电偶连接 镀膜效果 活动接触 温度传导 准确测量 测量 试验 | ||
【主权项】：
1.一种工件温度检测装置，用于检测一真空腔室中的工件的实际温度，其特征在于：所述工件温度检测装置包括工件转盘、工件夹具、热电偶、电偶端子、转轴、若干活动端子、环形端子盘及温度测量仪表，所述工件转盘置于真空腔室中，所述工件夹具设置于工件转盘上并夹持工件，所述转轴至少部分地位于真空腔室中，所述工件转盘与转轴位于真空腔室中一端固定连接，所述电偶端子设置于转轴位于真空腔室内的一端，所述活动端子设置于转轴的另一端，所述热电偶的一端与工件连接，另一端与电偶端子连接；电偶端子与活动端子连接，活动端子与环形端子盘活动接触，环形端子盘与温度测量仪表连接。
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