[发明专利]气体传感器在审
| 申请号： | 201810216002.2 | 申请日： | 2018-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN109839411A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 林裕美 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;G01N27/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杜丽利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供具有充分的性能的气体传感器。实施方式涉及的气体传感器具有：固定电极32；和膜结构，其为覆盖固定电极、在其内侧形成空腔40的膜结构20，包含用含有金属元素的无定形材料形成的感应层23和在感应层上设置的覆盖层24，可通过感应层吸收规定的气体而变形。 | ||
| 搜索关键词： | 气体传感器 感应层 固定电极 膜结构 无定形材料 金属元素 覆盖层 空腔 变形 覆盖 吸收 | ||
【主权项】：
1.气体传感器，其具有：固定电极；和膜结构，其为覆盖上述固定电极、在其内侧形成空腔的膜结构，包含用含有金属元素的无定形材料形成的感应层和在上述感应层上设置的覆盖层，并能通过上述感应层吸收规定的气体而变形。
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