[发明专利]一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构在审
| 申请号： | 201810218177.7 | 申请日： | 2018-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN108565199A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 张岩;杨周林;宿华伟;黄国瑞 | 申请（专利权）人： | 台晶(重庆)电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 胡柯 |
| 地址： | 401329 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，包括本体和挡板组件，挡板组件包括马达、凸轮、挡板；本体上开设有容纳腔，马达固定安装在本体上，凸轮的底端固定安装在马达的转动轴的顶端上，凸轮的顶端固接一连接轴，连接轴的中心轴线与马达的转动轴的中心轴线平行，凸轮位于容纳腔内，挡板上开设有安装孔，挡板通过安装孔套设在连接轴上，安装孔的尺寸大于马达的转动轴的直径。本发明使用马达驱动凸轮转动，凸轮带动挡板移动，实现挡板的开合动作，将故障率从使用线圈控制挡板时的78％降至使用马达驱动挡板时的10％，提升了工作效率；通过马达驱动带动线圈驱动，降低了贵重线圈的使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 挡板 马达 马达驱动 安装孔 连接轴 转动轴 离子刻蚀微调机 快速切换机构 挡板组件 中心轴线 容纳腔 挡板移动 工作效率 开合动作 凸轮带动 凸轮转动 线圈控制 线圈驱动 故障率 底端 固接 平行 | ||
【主权项】：
1.一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，包括安装在离子刻蚀微调机上的本体，其特征在于：还包括有挡板组件，所述挡板组件包括有马达、凸轮、挡板；所述本体上开设有容纳腔，所述马达固定安装在所述本体上，所述凸轮的底端固定安装在所述马达的转动轴的顶端上，所述凸轮的顶端固接一连接轴，所述连接轴的中心轴线与马达的转动轴的中心轴线平行，所述凸轮位于所述容纳腔内，所述挡板上开设有安装孔，所述挡板通过安装孔套设在连接轴上，所述安装孔的尺寸大于马达的转动轴的直径。
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