[发明专利]一种调质均质靶板的制造方法

摘要

本发明涉及冶金及压力加工领域，公开了一种调质均质靶板的制造方法，该方法包括将钢锭依次进行压机锻制、退火处理、机械加工处理和调质处理，退火处理采用包括如下过程的步骤进行：将压机锻制后得到的靶板以升温至第一温度，并在该第一温度下保持2～4h；将靶板升温至第二温度，并在该第二温度下保持4～6h；将靶板降至第三温度，并在该第三温度下保持5～7h；将靶板升温至第四温度，并在该第四温度下保持25～35h；将靶板降温至350～450℃，然后降温至200℃以下。由本发明的上述方法制造得到的调质均质靶板的平面组织均匀、硬度均匀且性能的各向异性小。

主权项

1.一种调质均质靶板的制造方法，该方法包括将钢锭依次进行压机锻制、退火处理、机械加工处理和调质处理，其中，所述退火处理采用包括如下过程的步骤进行：(1)将压机锻制后得到的靶板以≤80℃/h的第一升温速率升温至650～750℃的第一温度，并在该第一温度下保持2～4h；(2)将经步骤(1)后的靶板以≤100℃/h的第二升温速率升温至820～920℃的第二温度，并在该第二温度下保持4～6h；(3)将经步骤(2)后的靶板的温度降至350～400℃的第三温度，并在该第三温度下保持5～7h；(4)将经步骤(3)后的靶板升温至630～730℃的第四温度，并在该第四温度下保持25～35h；以及(5)将经步骤(4)后的靶板以≤30℃/h的第一降温速率降温至350～450℃，然后以低于所述第一降温速率的第二降温速率降温至200℃以下，其中，所述钢锭通过将钢原料依次进行偏心底电弧炉熔炼、炉外精炼和浇铸而制得，所述钢原料依次进行偏心底电弧炉熔炼和炉外精炼后获得的精炼钢液中含有：0.27～0.33重量％的C，0.18～0.35重量％的Si，0.30～0.50重量％的Mn，0～0.030重量％的S，0～0.030重量％的P，1.80～2.30重量％的Cr，1.80～3.00重量％的Ni，0.28～0.38重量％的Mo， 余量为Fe和不可避免的杂质。