[发明专利]蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法

摘要

本发明提供一种蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法，能够提高通过蒸镀形成的图案的精度。金属板的长度方向DL上的各位置处的沿着金属板的宽度方向DW的形状彼此不同，各形状为具有在金属板的宽度方向上反复的凹凸的波形状，金属板的表面上的宽度方向DW的长度为表面距离，金属板的长度方向的各位置处的表面距离中的最小值为最小表面距离，金属板的长度方向的各位置处的表面距离与最小距离之差相对于最小表面距离的比率为宽度方向上的伸长差率，宽度方向上的伸长差率的最大值为2×10－5以下。

主权项

1.一种蒸镀掩模用基材，该蒸镀掩模用基材为呈带状的金属板，通过蚀刻形成有多个孔，被使用于制造蒸镀掩模，其中，上述金属板具有长度方向和宽度方向，上述金属板的上述长度方向上的各位置处的沿着上述宽度方向的形状彼此不同，各形状为具有在上述金属板的宽度方向上反复的凹凸的波形状，上述宽度方向上的上述金属板的表面的长度为表面距离，上述金属板的上述长度方向的各位置处的上述表面距离中的最小值为最小表面距离，各表面距离与上述最小表面距离之差相对于上述最小表面距离的比率为上述宽度方向上的伸长差率，上述伸长差率的最大值为2×10－5以下。