[发明专利]掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统有效
| 申请号： | 201810240561.7 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108441814B | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | 吕守华;黄俊杰;张德;赵蓉 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统，该掩膜装置包括框架、条状对位板和条状支撑板，在条状对位板中设置有镂空部，且条状对位板固定在框架上；条状支撑板与条状对位板相互交叉，并且在条状支撑板的与框架相对的表面上设置有多个焊点。本发明提供的掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统的技术方案，可以避免条状对位板材料的浪费及给后续的对位工作带来困难。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 及其 制作方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜装置，包括框架、条状对位板和条状支撑板，其特征在于，在所述条状对位板中设置有镂空部，且所述条状对位板固定在所述框架上；所述条状支撑板与所述条状对位板相互交叉，并且在所述条状支撑板的与所述框架相对的表面上设置有多个焊点，所述条状支撑板对应所述镂空部的区域内设置有多个所述焊点。
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