[发明专利]一种基板处理系统在审
| 申请号： | 201810240582.9 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108438903A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 杨依辉 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及自动化领域，尤其涉及一种基板处理系统，用以解决现有技术中基板处理效率低、生产良率低的问题。该系统包括：第一承载装置、报废处理装置以及搬运装置，其中，所述搬运装置用于从第一承载装置中抓取待处理基板，并将所述待处理基板搬运至所述报废处理装置，以使得所述报废处理装置根据检测结果对所述待处理基板执行不同的处理操作。本申请提供的技术方案采用搬运装置实现基板的自动转移搬运，无需人工参与，提高了基板处理效率，且在搬运过程中无人工接触，避免了对基板可能造成的污染及损坏，提升了基板良率。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运装置 处理基板 处理装置 搬运 第一承载装置 基板处理系统 基板处理效率 报废 基板 良率 抓取 自动化领域 处理操作 检测结果 人工参与 自动转移 对基板 无人工 申请 污染 生产 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理系统，其特征在于，包括：第一承载装置、报废处理装置以及搬运装置，其中，所述搬运装置用于从第一承载装置中抓取待处理基板，并将所述待处理基板搬运至所述报废处理装置，以使得所述报废处理装置根据人工检测结果对所述待处理基板执行不同的处理操作。
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