[发明专利]一种硅片测试台有效
| 申请号： | 201810247686.2 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN110299297B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 赵向阳 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 罗磊 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种硅片测试台，所述硅片测试台包括工作台、校准器及传送器；所述传送器用于拾取待检测硅片并将拾取到的待检测硅片传送至所述工作台上，所述校准器用于对所述工作台上待检测硅片的角度进行调整，所述工作台用于检测待检测硅片的少子寿命；所述工作台包括台体、升降杆和固定框，所述升降杆和固定框安装在所述台体上，所述升降杆的位置在所述固定框内，所述升降杆相对于所述台体和所述固定框上下移动。所述工作台上的固定框用于固定检测中的硅片，避免所述硅片在检测过程中滑移导致所述硅片表面损伤，有效的避免了所述硅片的少子寿命降低，所述升降杆用于升降所述硅片，便于放置和取出所述硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 测试 | ||
【主权项】：
1.一种硅片测试台，其特征在于，所述硅片测试台包括工作台、校准器及传送器；所述传送器用于拾取待检测硅片并将拾取到的待检测硅片传送至所述工作台上，所述校准器用于对所述工作台上待检测硅片的位置进行调整，所述工作台用于检测待检测硅片；所述工作台包括台体、升降杆和固定框，所述升降杆和固定框安装在所述台体上，所述升降杆位于所述固定框内，所述升降杆能够相对于所述固定框上下移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新昇半导体科技有限公司，未经上海新昇半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810247686.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
