[发明专利]一种激光光束的调制装置、激光封装设备及加工方法有效
| 申请号： | 201810251539.2 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN110361868B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 陈雪影;于大维;孙建超 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B27/12;G02B26/10;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光光束的调制装置、激光封装设备及加工方法。该激光光束的调制装置包括空间光束整形单元，用于对所述激光光束进行空间相位调制处理，生成相位调制激光光束；振镜扫描单元，用于将所述相位调制激光光束转投到待处理器件上形成激光光斑，并使激光光斑沿着处理路径进行扫描移动；控制单元，与空间光束整形单元、振镜扫描单元电连接，用于在激光处理过程中，根据处理路径上各个处理点与相位调制参数的对应关系，控制所述空间光束整形单元调制照射到各个处理点的激光光斑的能量分布，该激光光束调制装置能够实现对应处理点的激光光束的适应性整形，消除透镜在不同视场位置的像差的影响，提高激光处理效率和处理质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 光束 调制 装置 封装 设备 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光光束的调制装置，其特征在于，包括：空间光束整形单元，用于对所述激光光束进行空间相位调制处理，生成相位调制激光光束；振镜扫描单元，用于将所述相位调制激光光束转投到待处理器件上形成激光光斑，并使激光光斑沿着处理路径进行扫描移动；控制单元，与空间光束整形单元、振镜扫描单元电连接，用于在激光处理过程中，根据处理路径上各个处理点与相位调制参数的对应关系，控制所述空间光束整形单元调制照射到各个处理点的激光光斑的能量分布。
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