[发明专利]一种基于石墨烯自身缺陷制作标准漏孔的方法在审
| 申请号： | 201810253643.5 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN108507719A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 王旭迪;姜彪;王永健;尉伟;杨丹;邱克强;魏本猛;寇钰 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01M3/00 | 分类号： | G01M3/00;C01B32/194 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于石墨烯自身缺陷的标准漏孔的方法，首先在铜箔上制作单层石墨烯，在石墨烯上涂一层聚甲基丙烯酸甲酯，使用铜腐蚀液去除铜箔，然后将石墨烯放到已打好孔的硅片上，干燥约1小时完成石墨烯的转移，最后将硅片放在KF40密封法兰上，使用Torr‑Seal胶均匀涂在硅片的四周，静置12小时以上固化制得单层石墨烯标准漏孔。本发明提出了一种新颖的制作标准漏孔的方法，可以通过控制石墨烯的层数控制通道的尺寸，获得所需要漏率的标准漏孔，因此，该标准漏孔漏率大小可控性好、漏率范围宽、可实现微小漏率测量，可保证通道中气体处于分子流状态。 | ||
| 搜索关键词： | 标准漏孔 石墨烯 硅片 漏率 单层石墨烯 铜箔 聚甲基丙烯酸甲酯 分子流状态 控制通道 漏率测量 密封法兰 缺陷制作 打好孔 可控性 铜腐蚀 固化 去除 制作 保证 | ||
【主权项】：
1.一种基于石墨自身烯缺陷制作标准漏孔的方法，其特征是首先在石墨烯铜箔涂上聚甲基丙烯酸甲酯，接着放入已配好的腐蚀液去除铜箔，放在去离子水中清洗；再将石墨烯转到已打好孔的硅片上，将转移过后的石墨烯放在蒸发皿中，干燥60min，之后将丙酮倒入蒸发皿中去除聚甲基丙烯酸甲酯，再干燥完成石墨烯的转移，固化制得标准漏孔。
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