[发明专利]一种应用于ZnO MOCVD设备的自动化工艺生产线

摘要

本发明提供了一种应用于ZnO MOCVD设备的自动化工艺生产线，包括使ZnO MOCVD设备完成其上下料需求的机器人、石墨盘分割器及推送系统、石墨盘视觉定位系统、外延片视觉系统、外延片上下料工作台、PLC控制系统，所述ABB机器人进行自动上下料；所述石墨盘分割器及推送系统用于定位石墨盘和固定石墨盘推送位置，所述石墨盘视觉定位系统包括传感器和计时器，外延片成型完成后，石墨盘随机放置在分割器上，所述传感器用于检测所述生长完成的石墨盘退出，经过视觉定位石墨盘的方向，所述计时器用于记录所述外延片到达石墨盘停留的时间；以解决现有的MOCVD设备生产线技术运输效率低下的问题。

主权项

1.一种应用于ZnO MOCVD设备的自动化工艺生产线，其特征在于：包括MOCVD换料仓，所述MOCVD换料仓内设有石墨盘，所述MOCVD换料仓一侧设有窗口，所述石墨盘下方设有石墨盘分割器及推送系统，所述石墨盘分割器及推送系统用于定位石墨盘和固定石墨盘推送位置，所述MOCVD换料仓周围与所述窗口同侧的方向设有料盒换料工作台，所述料盒换料工作台上以气动锁紧料盒的方式设有气动件，所述料盒换料工作台的周围以将料盒中的外延片吸取并放置到石墨盘上的方式设有机器人，所述MOCVD换料仓上设有PLC控制系统，所述PLC控制系统用于控制所述机器人动作。