[发明专利]载置台及载置方法有效
| 申请号： | 201810258928.8 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN108687722B | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 井出伸树 | 申请（专利权）人： | 新东超精密有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/02 | 分类号： | B25H1/02;B25H1/18;B25H1/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 赵晶;高培培 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种能够将工件高精度地载置于所希望的位置的载置台及载置方法。所述载置台为载置矩形形状的工件的载置台(2)，具备对载置所述工件的所述载置台的表面(10a)的平面度进行调整的平面度调整部(4a～4x)，所述平面度调整部具备：螺栓(16)，配置于贯通所述载置台的贯通孔(28)；第一球面垫片(18)，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片(20)，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉(22)，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母(24)，将所述调整螺钉固定。 | ||
| 搜索关键词： | 载置台 方法 | ||
【主权项】：
1.一种载置台，载置矩形形状的工件，所述载置台的特征在于，所述载置台具备对载置所述工件的所述载置台的表面的平面度进行调整的平面度调整部，所述平面度调整部具备：螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母，将所述调整螺钉固定。
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