[发明专利]阵列基板及其制造方法、显示装置

摘要

本发明公开了一种阵列基板及其制造方法、显示装置，属于显示技术领域。方法包括：提供一衬底基板；在衬底基板上依次形成栅极金属图案、栅绝缘层和有源层，栅极金属图案包括信号线和栅极，信号线位于周边区域；通过构图工艺形成贯穿有源层和栅绝缘层的第一过孔，并通过构图工艺形成有源层图案，第一过孔在衬底基板上的正投影与信号线在衬底基板上的正投影存在重叠区域；在形成有有源层图案的衬底基板上形成源漏极金属图案，源漏极金属图案包括源漏极走线，源漏极走线通过第一过孔与信号线电连接；在形成有源漏极金属图案的衬底基板上形成钝化层。本发明解决了相关技术中阵列基板的可靠性较低的问题。本发明用于阵列基板的制造。

主权项

1.一种阵列基板的制造方法，其特征在于，所述阵列基板包括显示区域和位于所述显示区域周围的周边区域，所述方法包括：提供一衬底基板；在所述衬底基板上依次形成栅极金属图案、栅绝缘层和有源层，所述栅极金属图案包括信号线和栅极，所述信号线位于所述周边区域；通过构图工艺形成贯穿所述有源层和所述栅绝缘层的第一过孔，并通过所述构图工艺形成有源层图案，所述第一过孔在所述衬底基板上的正投影与所述信号线在所述衬底基板上的正投影存在重叠区域；在形成有所述有源层图案的衬底基板上形成源漏极金属图案，所述源漏极金属图案包括源漏极走线，所述源漏极走线通过所述第一过孔与所述信号线电连接；在形成有所述源漏极金属图案的衬底基板上形成钝化层。