[发明专利]一种温度控制系统、光刻装置和温度控制方法在审
| 申请号： | 201810263871.0 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN110319614A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 孟祥麒;郝保同 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | F25B9/04 | 分类号： | F25B9/04;F25B49/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种温度控制系统、光刻装置和温度控制方法。其中，温度控制系统包括：温控介质供给模块，用于为冷热量输出模块提供温控气流；冷热量输出模块，包括多级串联的涡流管，用于向温控对象输出冷量和/或热量；温控检测模块，用于检测温控参数，所述温控参数至少包括输出的冷量对应的冷气流量及冷量温度和/或输出的热量对应的热气流量及热量温度，以及所述温控对象的温度；控制模块，用于根据所述温控参数，调节所述冷气流量及所述冷量温度和/或所述热气流量及所述热量温度，以使所述温控对象的温度达到目标温度。本发明增大了冷量或热量的输出，扩大了涡流管的温度控制范围，同时进行热量和冷量的快速输出，改善能源浪费的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 冷量 温度控制系统 温控参数 温控对象 输出 光刻装置 冷气流量 热气流量 输出模块 冷热量 涡流管 温控检测模块 多级串联 供给模块 控制模块 温控介质 温控 检测 能源 | ||
【主权项】：
1.一种温度控制系统，其特征在于，包括：温控介质供给模块，用于为冷热量输出模块提供温控气流；冷热量输出模块，包括多级串联的涡流管，用于向温控对象输出冷量和/或热量；温控检测模块，用于检测温控参数，所述温控参数至少包括输出的冷量对应的冷气流量及冷量温度和/或输出的热量对应的热气流量及热量温度，以及所述温控对象的温度；控制模块，用于根据所述温控参数，调节所述冷气流量及所述冷量温度和/或所述热气流量及所述热量温度，以使所述温控对象的温度达到目标温度。
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